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超小型実験用CVD装置 FT-1200CVD

卓上に置いて即実験が出来ます！
ガス系等・真空装置を接続すればCVD装置の完成。
小型真空炉として使用可能！
超小型実験用CVD装置 FT-1200CVD
システム　レイアウト参考写真
超小型実験用CVD装置 FT-1200CVD 3ゾーン制御型
3ゾーン制御型CVD
  • 9パターン×9ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて16×16プログラム可能)
  • 専用MPCSソフト(オプション)使用にてパソコンリンク可能
  • MAX1,200℃(R：t/c使用時)
  • 電源はA.C100V 1.3Kw 省エネタイプ
  • 標準でブルドン真空計付き
型式 FT-1200CVD
最大温度 1,200℃
常用温度 RT～1100℃
使用炉芯管 O.D34φ×800mL高純度石英管
均熱部 150mmL
温度設定精度 ±1℃以内
ヒーター カンタルAF
ヒータードライブ デジタルサイリスター(位相角)
標準装備 過昇温アラーム付 / ブルドン真空計 /
温度プログラム：PC通信対応9パターン×9ステップ デジタルコントローラー
オプション
  1. ガス系フローコントロール
  2. 真空排気系(R．Pポンプ他)
  3. 排気ガス処理装置
  4. CVD―trAP
  5. 高性能パソコンリンクプログラムコントローラー16×16パターン
  6. 6chマルチ入力記録計(PC通信対応)
  7. MPCSコンピューター通信ソフトウェア